VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.
당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.
VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.
당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.
CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성 | |
재산 | 일반적인 값 |
결정 구조 | FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향 |
밀도 | 3.21g/cm³ |
경도 | 비커스 경도 2500(500g 하중) |
입자 크기 | 2~10μm |
화학적 순도 | 99.99995% |
열용량 | 640 J·kg-1·K-1 |
승화 온도 | 2700℃ |
굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
영률 | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
열전도율 | 300W·m-1·K-1 |
열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
신뢰할 수 있는 CVD SiC 코팅 제조업체인 VeTek Semiconductor에 오신 것을 환영합니다. 우리는 고순도 흑연을 사용하여 전문적으로 설계되었으며 불순물이 5ppm 미만인 최첨단 CVD SiC 코팅이 특징인 Aixtron SiC 코팅 컬렉터 탑을 제공하는 것을 자랑스럽게 생각합니다. 질문이나 문의 사항이 있으면 주저하지 말고 저희에게 연락해주세요.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor는 CVD SiC 코팅 제조에 대한 전문 지식을 바탕으로 Aixtron SiC 코팅 컬렉터 바닥을 자랑스럽게 선보입니다. 이 SiC 코팅 수집기 바닥은 고순도 흑연을 사용하여 구성되었으며 CVD SiC로 코팅되어 불순물을 5ppm 이하로 보장합니다. 추가 정보 및 문의 사항이 있으면 언제든지 저희에게 연락해 주세요.
더 읽어보기문의 보내기VeTek Semiconductor에서는 CVD SiC 코팅 및 CVD TaC 코팅의 연구, 개발 및 산업화를 전문으로 합니다. 대표적인 제품 중 하나가 SiC 코팅 커버 세그먼트 내부(SiC Coating Cover Segments Inner)입니다. 이 제품은 고도로 정밀하고 조밀하게 코팅된 CVD SiC 표면을 얻기 위해 광범위한 공정을 거칩니다. 이 코팅은 고온에 대한 탁월한 내성을 입증하고 강력한 부식 방지 기능을 제공합니다. 문의 사항이 있으면 언제든지 문의해 주세요.
더 읽어보기문의 보내기Vetek Semiconductor는 CVD SiC 코팅 및 CVD TaC 코팅의 발전과 상용화에 전념하고 있습니다. 예를 들어 당사의 SiC 코팅 커버 세그먼트는 세심한 가공을 거쳐 탁월한 정밀도로 조밀한 CVD SiC 코팅이 생성됩니다. 이는 고온에 대한 뛰어난 저항성을 나타내며 부식에 대한 강력한 보호 기능을 제공합니다. 귀하의 문의를 환영합니다.
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