> 제품 > 실리콘 카바이드 코팅

제품

신제품

중국 실리콘 카바이드 코팅 제조업체, 공급업체, 공장

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

View as

SiC 코팅 ICP 에칭 캐리어

VeTek Semiconductor의 SiC 코팅 ICP 에칭 캐리어는 가장 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 고품질 초순수 흑연 소재로 제작된 당사의 SiC 코팅 ICP 에칭 캐리어는 표면이 매우 평탄하고 내식성이 뛰어나 취급 시 가혹한 조건을 견딜 수 있습니다. SiC 코팅 캐리어의 높은 열 전도성은 균일한 열 분포를 보장하여 탁월한 에칭 결과를 제공합니다. VeTek Semiconductor는 많은 반도체 제조업체와 장기적인 협력 관계를 구축해 왔습니다. 또한 귀하와 장기적인 파트너십 구축을 기대하고 있습니다.

더 읽어보기 문의 보내기

반도체용 PSS 에칭 캐리어 플레이트

VeTek Semiconductor의 반도체용 PSS 에칭 캐리어 플레이트는 웨이퍼 처리 공정용으로 설계된 고품질 초순수 흑연 캐리어입니다. 당사의 캐리어는 탁월한 성능을 갖추고 있으며 열악한 환경, 고온 및 열악한 화학적 세척 조건에서도 잘 작동할 수 있습니다. 당사의 제품은 많은 유럽 및 미국 시장에서 널리 사용되고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다. 중국에 와서 당사 공장을 방문하여 당사의 기술과 제품에 대해 자세히 알아볼 수 있습니다.

더 읽어보기 문의 보내기

급속 열 어닐링 서셉터

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 급속 열 어닐링 서셉터 제조업체 및 공급업체로, 반도체 산업을 위한 고성능 솔루션 제공에 중점을 두고 있습니다. 우리는 SiC 코팅 재료 분야에서 다년간의 깊은 기술 축적을 보유하고 있습니다. 당사의 급속 열 어닐링 서셉터는 웨이퍼 에피택셜 제조 요구 사항을 충족하기 위해 탁월한 고온 저항성과 탁월한 열 전도성을 갖추고 있습니다. 당사의 기술과 제품에 대해 자세히 알아보려면 중국에 있는 당사 공장을 방문하시기 바랍니다.

더 읽어보기 문의 보내기

실리콘 기반 GaN 에피택셜 서셉터

실리콘 기반 GaN 에피택시 서셉터는 GaN 에피택셜 생산에 필요한 핵심 부품입니다. 전문 제조업체 및 공급업체인 VeTek Semiconductor는 고품질 실리콘 기반 GaN 에피택셜 서셉터를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사의 실리콘 기반 GaN 에피택시 서셉터는 실리콘 기반 GaN 에피택셜 반응기 시스템용으로 설계되었으며 고순도, 우수한 고온 저항 및 내식성을 갖추고 있습니다. VeTek Semiconductor는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 문의해 주시기 바랍니다.

더 읽어보기 문의 보내기

LPE Reactor용 8인치 하프문 부품

VeTek Semiconductor는 LPE Reactor용 8인치 Halfmoon 부품의 R&D 및 생산에 주력하는 중국 최고의 반도체 장비 제조업체입니다. 당사는 특히 SiC 코팅 재료 분야에서 수년간 풍부한 경험을 축적해 왔으며 LPE 에피택시 반응기에 맞춤화된 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사의 LPE Reactor용 8인치 Halfmoon 부품은 우수한 성능과 호환성을 갖추고 있으며 Epitaxis 제조에 있어서 없어서는 안 될 핵심 부품입니다. 당사 제품에 대한 자세한 내용을 알고 싶으시면 귀하의 문의를 환영합니다.

더 읽어보기 문의 보내기

LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터

LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터는 6'' 웨이퍼 에피택셜 웨이퍼 처리에 사용되는 핵심 부품 중 하나입니다. VeTek Semiconductor는 현재 중국에서 LPE PE3061S 6'' 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터의 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다. 이것이 제공하는 SiC 코팅 팬케이크 서셉터는 높은 내식성, 우수한 열 전도성 및 우수한 균일성과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

더 읽어보기 문의 보내기

<...14 15 16 17 18 >

중국의 전문 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급업체로서 우리는 자체 공장을 보유하고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국산 고급 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려는 경우 메시지를 남길 수 있습니다.