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SiC 코팅 Epi 수신기
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SiC 코팅 Epi 수신기

VeTek Semiconductor는 중국 내 SiC 코팅 Epi Susceptor 제품의 선도적인 제조업체이자 혁신업체이자 리더입니다. 수년 동안 당사는 SiC 코팅 Epi 서셉터, SiC 코팅 웨이퍼 캐리어, SiC 코팅 서셉터, SiC 코팅 ALD 서셉터 등과 같은 다양한 SiC 코팅 제품에 주력해 왔습니다. VeTek Semiconductor는 반도체를 위한 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 산업. 추가 상담을 환영합니다.

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제품 설명

Vetek Semiconductor는 중국의 SiC 코팅 Epi Susceptor 전문 제조업체입니다.

VeTek Semiconductor의 SiC 코팅 Epi Susceptor는 흑연과 탄화규소로 만들어졌습니다. 이 SiC 코팅 제품은 수입 흑연을 사용하여 보다 안정적인 성능과 긴 수명을 가지며 유럽 및 미국 고객으로부터 높은 평가를 받고 있습니다. 동시에 SiC 코팅 Epi 서셉터의 농도는 5ppm 이하로 균일성이 매우 좋습니다. 지속적인 기술 업그레이드 이후 VeTek Semiconductor는 새로운 프로세스를 사용하여 SiC 코팅의 열팽창 계수와 흑연 재료를 잘 일치시킵니다.

SiC Coating Epi Susceptor는 반도체 장비의 고온 및 부식 환경에서 특별히 사용됩니다. SiC 코팅 에피 서셉터는 AIXTRON과 같은 장비, 특히 심자외선 에피택시(DUV Epitaxy) 공정에서 흔히 사용되며 핵심적인 역할을 합니다.

심자외선 에피택시(DUV Epitaxy) 공정에서 SiC 코팅 에피서셉터의 뛰어난 내열성과 내식성이 결합된 SiC 코팅 에피서셉터는 일반적으로 에피택시 공정 중 AIXTRON 장비의 반응 챔버 주변에 캐리어로 설치됩니다. 장비를 손상시키거나 오염시키는 행위.

이 SiC 코팅 Epi 서셉터는 심자외선 에피택시용으로 설계되었습니다. 우리는 탄화규소 코팅을 엄격하게 관리하고, 완충층 기술을 통합하여 흑연과 탄화규소 코팅 간의 열팽창 계수 차이로 인해 발생하는 문제를 줄여 제품의 수명을 연장합니다. 현재 당사의 제품은 수많은 찬사를 받았으며 국내 시장에서 최고의 제품 중 하나로 인정받고 있습니다.

VeTek Semiconductor는 SiC 코팅 제품 분야의 업계 선두주자로서 제품 맞춤 서비스와 만족스러운 제품 가격을 지원하며, 귀하의 추가 상담을 기대합니다.


CVD SIC 필름의 SEM 데이터:


VeTek Semiconductor SiC 코팅 스커트 제품 매장:


반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요:


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