웨이퍼 핸들링 로봇 팔

Vetek Semiconductor는 열 분사 기술로 만든 웨이퍼 처리 로봇 팔 전문 기업입니다.

1.열 분사 기술은 로봇 팔의 내마모성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다. 웨이퍼 핸들링 로봇 암은 작동 중에 웨이퍼 및 기타 장비와 자주 접촉합니다. 이러한 고주파 접촉 및 움직임으로 인해 기계 부품이 쉽게 마모될 수 있습니다. 로봇팔 표면에 내마모성 소재를 분사함으로써 부품의 마모를 대폭 줄이고, 로봇팔의 수명을 연장하며, 유지관리 비용을 절감할 수 있습니다.

2. 내식성 향상은 용사 기술의 중요한 장점이기도합니다. 반도체 제조 공정에서 로봇 팔은 부식성 가스와 화학 시약이 가득한 환경에서 작업해야 합니다. 이러한 화학 물질은 로봇 팔을 부식시켜 성능과 정밀도에 영향을 미칠 수 있습니다. 용사 기술은 로봇 팔 표면에 치밀한 부식 방지 코팅을 형성하여 부식성 물질의 침입을 효과적으로 방지함으로써 열악한 환경에서도 로봇 팔의 안정적인 작동을 보장합니다.

3.열 분사 기술은 로봇 팔의 열 안정성을 향상시킬 수도 있습니다. 반도체 제조 공정 중 일부 공정에서는 고온이 발생하며, 로봇 팔은 고온 환경에서 정밀한 작동을 유지해야 합니다. 용사 기술은 로봇 팔의 표면을 고온 안정성이 높은 소재로 코팅해 로봇 팔이 고온에서 변형되거나 열화되지 않도록 함으로써 전체 생산 라인의 신뢰성과 정밀도를 향상시킨다.

4. 정전기 방지 코팅을 적용하여 로봇 팔의 성능을 더욱 향상시킵니다. 웨이퍼는 정전기에 매우 민감하며, 정전기가 축적되면 웨이퍼 표면이 오염되거나 전자 장치가 손상될 수 있습니다. 용사 기술을 통해 로봇팔 표면에 정전기 방지 코팅을 형성할 수 있어 정전기 발생을 효과적으로 줄이고, 정전기에 의한 웨이퍼 손상을 방지하며, 제품의 품질과 안전성을 보장합니다.

5. 열 분사 기술은 작동 중 로봇 팔의 입자 오염을 줄일 수도 있습니다. 반도체 제조에서 작은 입자 오염은 웨이퍼 품질에 영향을 미칠 수 있습니다. 용사 기술을 이용하면 로봇팔 표면에 매끄럽고 치밀한 코팅을 형성해 파티클 발생을 줄이고 생산 환경의 청결도를 유지해 제품 수율을 높일 수 있다.