VeTek Semiconductor는 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문(Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon)에 대한 중국의 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 R&D 및 생산을 전문으로 하며 품질을 잘 제어하고 경쟁력 있는 가격을 제공할 수 있습니다. 장기적인 협력에 대한 추가 논의를 위해 저희 공장을 방문하실 수 있습니다.
VeTek Semiconductor는 전문적인 중국 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문 제조업체 및 공급업체입니다. VeTek Semiconductor는 탄탈륨 탄화물 TaC 코팅 하프문(Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon)을 제공합니다. 이는 탄화규소의 에피택셜 공정에서 지지 및 운반 역할을 하며, 기판을 지지할 뿐만 아니라 평평한 기초를 제공하여 에피택시가 균일하게 성장할 수 있도록 합니다.
반달 부품의 품질과 성능은 탄화규소 에피택셜 공정 중 웨이퍼의 품질과 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 따라서 SiC 에피택셜 공정의 성공을 위해서는 적절한 반달형 부품을 설계하고 선택하는 것이 중요합니다. VeTek Semiconductor가 제작한 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문은 고온 저항성, 내식성, 내마모성을 향상시켜 성장 과정에서 반달 부품의 안정성과 수명을 크게 향상시킵니다.
TaC 코팅의 물리적 특성 | |
밀도 | 14.3(g/cm3) |
특정 방사율 | 0.3 |
열팽창계수 | 6.3 10-6/K |
경도(홍콩) | 2000홍콩 |
저항 | 1×10-5Ω*cm |
열 안정성 | <2500℃ |
흑연 크기 변화 | -10~-20um |
코팅 두께 | ≥20um 일반 값(35um±10um) |
1. 고온 저항
2. 높은 내식성
3. 높은 경도와 내마모성
4.좋은 열전도율
5.Good 화학적 불활성