탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연

VeTek 반도체 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연은 초고온 저항성(융점 약 3880°C), 우수한 열 안정성, 기계적 강도 및 고온 환경에서의 화학적 불활성으로 인해 탄화규소(SiC) 결정이 되었습니다. 성장 과정에서 없어서는 안 될 재료입니다. 특히, 다공성 구조는 많은 기술적 이점을 제공합니다.결정 성장 과정. 

다음은 이에 대한 상세한 분석이다.탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연핵심 역할:

● 가스 흐름 효율성을 개선하고 공정 매개변수를 정확하게 제어합니다.

다공성 흑연의 미세 다공성 구조는 반응 가스(탄화물 가스, 질소 등)의 균일한 분포를 촉진하여 반응 영역의 분위기를 최적화할 수 있습니다. 이러한 특성은 국지적인 가스 축적이나 난류 문제를 효과적으로 방지하고 SiC 결정이 성장 과정 전반에 걸쳐 고르게 응력을 받도록 보장하며 결함률을 크게 줄일 수 있습니다. 동시에 다공성 구조를 통해 가스 압력 구배를 정밀하게 조정할 수 있어 결정 성장 속도를 더욱 최적화하고 제품 일관성을 향상할 수 있습니다.

●  열 응력 축적을 줄이고 결정 무결성을 향상시킵니다.

고온 작업에서 다공성 탄탈륨(TaC)의 탄성 특성은 온도 차이로 인한 열 응력 집중을 크게 완화합니다. 이 능력은 SiC 결정을 성장시킬 때 특히 중요하며, 열 균열 형성 위험을 줄여 결정 구조의 무결성과 가공 안정성을 향상시킵니다.

●  열 분포 최적화 및 에너지 활용 효율성 향상

탄탈륨 카바이드 코팅은 다공성 흑연에 더 높은 열 전도성을 제공할 뿐만 아니라 다공성 특성으로 열을 고르게 분산시켜 반응 영역 내에서 매우 일관된 온도 분포를 보장합니다. 이러한 균일한 열 관리는 고순도 SiC Crystal을 생산하기 위한 핵심 조건입니다. 또한 난방 효율을 크게 향상시키고, 에너지 소비를 줄이며, 생산 공정을 더욱 경제적이고 효율적으로 만들 수 있습니다.

●  내식성 강화 및 부품 수명 연장

고온 환경(예: 수소 또는 탄화규소 증기상)의 가스 및 부산물은 재료에 심각한 부식을 일으킬 수 있습니다. TaC 코팅은 다공성 흑연에 탁월한 화학적 장벽을 제공하여 부품의 부식 속도를 크게 줄여 서비스 수명을 연장합니다. 또한, 코팅은 다공성 구조의 장기적인 안정성을 보장하여 가스 수송 특성이 영향을 받지 않도록 합니다.

●  불순물의 확산을 효과적으로 차단하고 결정의 순도를 보장합니다.

코팅되지 않은 흑연 매트릭스는 미량의 불순물을 방출할 수 있으며, TaC 코팅은 이러한 불순물이 고온 환경에서 SiC 결정으로 확산되는 것을 방지하는 절연 장벽 역할을 합니다. 이러한 차폐 효과는 결정 순도를 향상하고 고품질 SiC 재료에 대한 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족하는 데 중요합니다.

VeTek 반도체의 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연은 SiC 결정 성장 공정 중 가스 흐름을 최적화하고, 열 응력을 줄이고, 열 균일성을 개선하고, 내식성을 강화하고, 불순물 확산을 억제하여 공정 효율성과 결정 품질을 크게 향상시킵니다. 이 소재를 적용하면 생산 시 높은 정밀도와 순도가 보장될 뿐만 아니라 운영 비용도 크게 절감되어 현대 반도체 제조의 중요한 기둥이 됩니다.

더 중요한 것은 VeTeksemi가 오랫동안 반도체 제조 산업에 첨단 기술과 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔으며 맞춤형 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연 제품 서비스를 지원해 왔다는 것입니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 진심으로 기대합니다.

탄탈륨 카바이드 코팅의 물리적 특성

VeTek 반도체 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연 생산 공장