TaC 코팅 세잎 반지

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 TaC 코팅 3잎 링 제조업체이자 혁신업체입니다. 우리는 수년 동안 TaC 및 SiC 코팅을 전문으로 해왔습니다. 당사의 제품은 내식성과 고강도를 갖추고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.

문의 보내기

제품 설명

VeTek Semiconductor는 중국의 전문 TaC 코팅 3 꽃잎 링 제조업체 및 공급업체입니다. TaC 코팅 3 꽃잎 링은 화합물 반도체용 Aixtron G10 증착 시스템, GaN 전력 및 RF용 G10-GaN 150/200 mm 높은 처리량 에피택시에 사용됩니다. 응용 프로그램.

VeTek Semiconductor TaC 코팅은 내식성 코팅, 내산화성 코팅, 내마모성 코팅으로 SiC보다 고온 안정성이 우수한 차세대 고온 저항성 소재로 2000℃ 이상의 환경에서 널리 사용됩니다. 항공우주 초고온 핫 엔드 부품, 3세대 반도체 단결정 성장 및 기타 분야.

제품 특징:

1. 고순도, 불순물 함량 < 5ppm

2. 고온 저항, 내식성, 고밀도, 고밀도

3. 고온에서 암모니아, 수소, 실란, 실리콘에 화학적으로 불활성이며 열 안정성이 좋습니다.

4. 열충격 저항, 작동주기 속도를 높일 수 있습니다

5. 흑연 접착력이 강해 수명이 길고 코팅 박리 현상이 발생하지 않습니다.

6. 엄격한 치수 공차.

주요 응용 프로그램:

1. 에피택셜 성장

2. 단결정 성장

3. 고온 부식 전환

4. 고온 및 내산화성 노즐

5. 가스 터빈 블레이드

TaC 코팅 세 꽃잎 링의 제품 매개변수

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)