PECVD 흑연 보트

Vetek Semiconductor의 PECVD 흑연 보트는 실리콘 웨이퍼의 간격을 효과적으로 유지하고 균일한 코팅 증착을 위해 글로 방전을 유도하여 태양전지 코팅 공정을 최적화합니다. 첨단 기술과 재료 선택을 통해 Vetek Semiconductor의 PECVD 흑연 보트는 실리콘 웨이퍼 품질을 향상시키고 태양 에너지 변환 효율을 높입니다. 주저하지 마시고 문의해 주세요.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 중국 전문 PECVD 흑연 보트 제조업체 및 공급업체입니다.

VeTek Semiconductor의 태양전지(코팅)PECVD 흑연 보트의 역할은 무엇인가요?

PECVD 흑연 보트는 코팅 공정으로 생산되는 일반 실리콘 웨이퍼의 캐리어로서 구조상 일정한 간격을 두고 다수의 보트 웨이퍼를 갖고 있으며, 인접한 두 보트 웨이퍼 사이의 간격이 매우 좁고 실리콘 웨이퍼가 양쪽에 배치된다. 빈 문 옆.

PECVD 흑연 보트 재료 흑연은 전기 및 열 전도성이 좋기 때문에 인접한 두 보트에 AC 전압이 요청되어 챔버에 특정 압력과 가스가 있을 때 인접한 두 보트가 양극과 음극을 형성합니다. 글로우 방전은 두 보트 사이에서 발생하며, 글로우 방전은 공간에서 SiH4 및 NH3 가스를 분해하여 Si 및 N 이온을 형성할 수 있습니다. 코팅 목적을 달성하기 위해 SiNx 분자가 실리콘 웨이퍼 표면에 형성 및 증착됩니다.

태양 전지 도금 반사 방지 필름의 캐리어인 PECVD 흑연 보트의 구조와 크기는 실리콘 웨이퍼의 변환 효율과 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 수년간의 기술 연구 개발을 거쳐 우리 공장은 이제 첨단 생산 장비, 성숙한 기술 설계자 및 경험을 보유하고 있습니다. 생산 직원과 재료는 수입 원자재 또는 고급 국내 재료를 선택할 수 있습니다. 현재 당사에서 제조하는 흑연하우스는 구조가 간단하고 흑연보트와의 거리가 적당하여 실리콘 코팅을 균일하게 하고 실리콘 웨이퍼의 품질을 향상시키며 태양에너지 변환효율을 높게 만듭니다.

Vetek Semiconductor는 현재 시장에 필요한 모든 유형의 흑연 보트를 보유하고 있습니다.

등방성 흑연의 기본 물리적 특성:

등방성 흑연의 물리적 특성
재산	단위	일반적인 값
부피 밀도	g/cm3	1.83
경도	HSD	58
전기 저항력	mΩ.m	10
굴곡강도	MPa	47
압축강도	MPa	103
인장강도	MPa	31
영률	평점	11.8
열팽창(CTE)	10-6K-1	4.6
열 전도성	W·m-1·K-1	130
평균 입자 크기	μm	8-10
다공성	%	10
재 함량	ppm	≤5 (정제 후)