디스크 수신기

Vetek Semiconductor는 최첨단 흑연 디스크 서셉터를 제공합니다. SiC 코팅은 탁월한 열 안정성, 탁월한 내화학성, 향상된 공정 균일성을 제공하여 최적의 성능과 신뢰성을 보장합니다. Vetek Semiconductor의 SiC 코팅 디스크 서셉터로 한 차원 높은 효율성과 정밀도를 경험해 보세요.

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제품 설명

Vetek Semiconductor의 흑연 디스크 서셉터는 고급 반도체 제조 공정을 위한 고성능 제품입니다. 당사의 흑연 디스크 서셉터는 업계의 까다로운 요구 사항을 충족하고 탁월한 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다.

이 흑연 디스크 서셉터는 AIX G5 유성 반응기 플랫폼용 OEM입니다.

GaN-on-Si MOCVD는 LED 에피택셜 생산에 사용되며 Aixtron G5 반응기는 MOCVD 플랫폼의 수율과 균일성을 향상시킵니다. 표준 두께 실리콘 기판을 사용하고 웨이퍼 굽힘 동작을 제어하는 5개의 200mm 웨이퍼에 대한 완전히 회전된 대칭 균일 패턴은 실리콘 제조에 필요한 것을 공식화했습니다.

Vetek Semiconductor의 GaN-on-Si MOCVD용 고순도 흑연 디스크 서셉터는 고급 반도체 제조 공정을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.

당사의 고순도 흑연 디스크 서셉터는 GaN-on-Si MOCVD 공정의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 탁월한 열 안정성과 내열성을 통해 일반적으로 800°C ~ 1100°C 범위의 까다로운 온도 조건을 견딜 수 있어 증착 공정 중에 최적의 성능을 보장합니다.

당사의 디스크 서셉터에 사용된 고순도 흑연 소재는 우수한 내화학성을 제공하여 GaN-on-Si MOCVD에 일반적으로 사용되는 암모니아(NH3) 및 유기 금속 전구체와 호환됩니다. 이를 통해 추가 SiC 코팅이 필요하지 않으므로 성능 저하 없이 생산 비용이 절감됩니다.

Vetek Semiconductor의 고순도 흑연 디스크 서셉터는 품질 저하 없이 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 신뢰성, 내구성 및 GaN-on-Si MOCVD 공정과의 호환성으로 인해 반도체 제조업체가 선호하는 선택입니다. GaN-on-Si MOCVD 제조 요구 사항에 맞는 고성능 흑연 디스크 서셉터를 제공하는 Vetek Semiconductor를 신뢰하십시오.