LPE SiC EPI 하프문

VeTek Semiconductor의 LPE SiC Epi Halfmoon은 LPE 리액터 SiC 에피택시 공정을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 제품입니다. 이 최첨단 솔루션은 제조 작업 전반에 걸쳐 우수한 성능과 효율성을 보장하는 몇 가지 주요 기능을 자랑합니다. 귀하와의 장기적인 협력을 기대합니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 전문 제조업체로서 고품질의 LPE SiC Epi Halfmoon을 제공하고자 합니다.

VeTek Semiconductor의 LPE SiC Epi Halfmoon은 LPE 리액터 SiC 에피택시 공정을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 제품입니다. 이 최첨단 솔루션은 제조 작업 전반에 걸쳐 뛰어난 성능과 효율성을 보장하는 몇 가지 주요 기능을 자랑합니다.

LPE SiC Epi Halfmoon은 뛰어난 정밀도와 정확성을 제공하여 균일한 성장과 고품질 에피택셜 레이어를 보장합니다. 혁신적인 디자인과 고급 제조 기술은 최적의 웨이퍼 지원 및 열 관리를 제공하여 일관된 결과를 제공하고 결함을 최소화합니다.

또한, LPE SiC Epi Halfmoon은 프리미엄 TaC(탄탈륨 카바이드) 층을 코팅해 성능과 내구성을 강화했습니다. TaC 코팅은 열 전도성, 내화학성, 내마모성을 크게 향상시켜 제품을 보호하고 수명을 연장시킵니다.

LPE SiC Epi Halfmoon에 TaC 코팅을 통합하면 공정 흐름이 크게 개선됩니다. 열 관리를 강화하여 효율적인 열 방출을 보장하고 안정적인 성장 온도를 유지합니다. 이러한 개선으로 인해 공정 안정성이 향상되고 열 응력이 감소하며 전체 수율이 향상됩니다.

또한, TaC 코팅으로 소재 오염을 최소화하여 더욱 깨끗하고 효율적인 작업이 가능합니다.

제어된 에피택시 공정. 이는 원치 않는 반응과 불순물에 대한 장벽 역할을 하여 더 높은 순도의 에피택셜 층을 만들고 장치 성능을 향상시킵니다.

Choose VeTek Semiconductor's LPE SiC Epi Halfmoon for unrivaled epitaxy processes. Experience the benefits of its advanced design, precision, and the transformative power of the TaC coating in optimizing your manufacturing operations. Elevate your performance and achieve exceptional results with VeTek Semiconductor's industry-leading solution.

LPE SiC Epi Halfmoon의 제품 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10-6/K
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10-5Ω*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)