CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링

VeTek Semiconductor는 다년간의 기술 개발을 경험해 왔으며 CVD TaC 코팅의 선도적인 공정 기술을 습득했습니다. CVD TaC 코팅된 3개의 꽃잎 가이드 링은 VeTek Semiconductor의 가장 성숙한 CVD TaC 코팅 제품 중 하나이며 PVT 방법으로 SiC 결정을 제조하는 데 중요한 구성 요소입니다. VeTek Semiconductor의 도움으로 귀하의 SiC 결정 생산이 더욱 원활하고 효율적이 될 것이라고 믿습니다.

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제품 설명

실리콘 카바이드 단결정 기판 재료는 일종의 결정 재료이며 와이드 밴드갭 반도체 재료에 속합니다. 고전압 저항, 고온 저항, 고주파, 저손실 등의 장점을 가지고 있습니다. 고출력 전력 전자 장치 및 마이크로파 무선 주파수 장치 제조의 기본 재료입니다. 현재 SiC 결정을 성장시키는 주요 방법으로는 물리기상수송(PVT법), 고온화학기상증착법(HTCVD법), 액상법 등이 있다.

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

PVT 방법은 산업적 대량 생산에 더 적합한 비교적 성숙한 방법입니다. SiC 종결정을 도가니 상부에 놓고 원료인 SiC 분말을 도가니 바닥에 놓으면 고온, 저압의 밀폐된 환경에서 SiC 분말이 승화되어 상부로 이동하게 된다. 온도 구배와 농도 차이의 작용에 따라 종자 결정이 형성되고 과포화 상태에 도달한 후 재결정화되므로 SiC 결정 크기와 특정 결정 유형의 제어 가능한 성장이 달성될 수 있습니다.

CVD TaC 코팅된 3개의 꽃잎 가이드 링의 주요 기능은 유체 역학을 개선하고 가스 흐름을 안내하며 결정 성장 영역이 균일한 분위기를 얻을 수 있도록 돕는 것입니다. 또한 SiC 결정 성장 중에 열을 효과적으로 방출하고 온도 구배를 유지함으로써 SiC 결정의 성장 조건을 최적화하고 불균일한 온도 분포로 인한 결정 결함을 방지합니다.

CVD TaC 코팅 성능 우수

● 초고순도: 불순물과 오염의 생성을 방지합니다.

● 고온 안정성: 2500°C 이상의 높은 온도 안정성으로 초고온 작동이 가능합니다.

● 화학적 환경 내성: H(2), NH(3), SiH(4) 및 Si에 대한 내성으로 가혹한 화학적 환경에서 보호 기능을 제공합니다.

● 흘리지 않고 장수: 흑연 본체와의 강력한 결합으로 내부 코팅이 벗겨지지 않고 긴 수명을 보장합니다.

● 열충격 저항: 열 충격 저항은 작동 주기를 가속화합니다.

●엄격한 치수 공차: 코팅 적용 범위가 엄격한 치수 공차를 충족하는지 확인합니다.

VeTek Semiconductor는 귀하에게 가장 적합한 제품과 솔루션을 맞춤화할 수 있는 전문적이고 성숙한 기술 지원 팀과 영업 팀을 보유하고 있습니다. 사전 판매부터 판매 후까지 VeTek Semiconductor는 항상 가장 완벽하고 포괄적인 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

TaC 코팅의 물리적 특성

TaC 코팅의 물리적 특성
TaC 코팅 밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
TaC 코팅 경도(HK)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)
열전도율	9-22(W/m·K)