CVD SiC 코팅 더미 웨이퍼

VeTeksemi CVD SiC 코팅 더미 웨이퍼의 제품 특징:

●  고온 가스 저항: SiC Dummy Wafer는 고온 가스 침식에 대한 저항성이 뛰어나 극한 조건에서 사용하기에 적합합니다. 이러한 탄력성은 가장 까다로운 환경에서도 일관된 성능을 보장합니다.

●  장기적인 구조적 무결성: CVD SiC 코팅 더미 웨이퍼는 장기간에 걸쳐 굽힘 및 변형에 저항하도록 설계되었습니다. 내구성이 뛰어나 여러 테스트 주기 동안 신뢰성을 유지하므로 빈번한 교체 필요성이 줄어듭니다.

●  입자 없는 표면: SiC 더미 웨이퍼는 오염 없는 환경을 유지하는 데 중요한 파티클 문제를 최소화하는 청소하기 쉬운 표면을 가지고 있습니다. 이 기능은 고품질 결과를 지원하고 결함 위험을 줄여줍니다.

●  화학적 안정성: SiC 코팅된 Dummy Wafer의 화학적 안정성으로 인해 다양한 부식성 물질에도 성능 저하 없이 견딜 수 있습니다. 이 기능은 화학 물질에 노출되는 동안 웨이퍼의 무결성을 유지하는 데 중요합니다.

CVD SiC 코팅 더미 웨이퍼의 구체적인 용도:

●  다양한 테스트 및 실험: SiC 코팅 더미 웨이퍼는 반도체 생산의 모든 단계에서 필수적이며 안전하고 신뢰할 수 있는 테스트 및 실험 수단을 제공합니다. 이는 생산 공정 초기에 필수적이며, 귀중한 생산 웨이퍼가 사용되기 전에 모든 매개변수가 최적이 되도록 보장합니다.

●  확산 중 보호: 확산공정에서 더미웨이퍼는 표준 실리콘웨이퍼를 보호하는 중요한 역할을 합니다. 이러한 보호 기능은 손상과 오염을 방지하여 원본 웨이퍼의 무결성과 품질을 유지합니다.

●  측정 정확도: 이 웨이퍼는 필름 두께, 내압성, 반사율을 측정하는 데 신중하게 사용됩니다. 또한 핀볼의 존재를 감지하고 리소그래피의 패턴 치수를 평가하는 데 도움을 주어 공정 정확도와 결함 감소에 크게 기여합니다.

실제로 VeTek Semiconductor는 맞춤형 제품 서비스를 지원하고 고객 요구에 따라 각 CVD SiC 코팅 더미 웨이퍼에 사용자 정의 일련번호를 제공하여 맞춤형 크기와 두께를 허용합니다. 맞춤형 레이저 조각은 교차 오염의 위험을 더욱 제거하여 높은 수준의 순도와 신뢰성을 보장합니다.

CVD SIC 코팅 필름의 SEM 데이터: