SiC 코팅 세트 디스크

CVD SiC 코팅의 선두 제조업체인 VeTek Semiconductor는 Aixtron MOCVD 반응기의 SiC 코팅 세트 디스크를 제공합니다. 이 SiC 코팅 세트 디스크는 고순도 흑연을 사용하여 제작되었으며 불순물이 5ppm 미만인 CVD SiC 코팅이 특징입니다. 본 상품에 대한 문의를 환영합니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 다년간의 경험을 바탕으로 SiC 코팅 세트 디스크, 컬렉터, 서셉터를 주로 생산하는 SiC 코팅 중국 제조업체 및 공급업체입니다. 당신과 비즈니스 관계를 구축하길 바랍니다.

Aixtron SiC 코팅 세트 디스크는 광범위한 응용 분야에 맞게 설계된 고성능 제품입니다. 이 키트는 보호 실리콘 카바이드(SiC) 코팅이 된 고품질 흑연 소재로 만들어졌습니다.

디스크 표면의 탄화규소(SiC) 코팅은 몇 가지 중요한 장점을 가지고 있습니다. 우선, 흑연 소재의 열전도율을 크게 향상시켜 효율적인 열전도와 정밀한 온도 제어를 실현합니다. 이는 사용 중에 전체 디스크 세트의 균일한 가열 또는 냉각을 보장하여 일관된 성능을 제공합니다.

둘째, 탄화규소(SiC) 코팅은 화학적 불활성이 뛰어나 디스크 세트의 부식에 대한 저항력이 뛰어납니다. 이러한 내식성은 열악하고 부식성 환경에서도 디스크의 수명과 신뢰성을 보장하므로 다양한 응용 시나리오에 적합합니다.

또한, 실리콘 카바이드(SiC) 코팅을 통해 디스크 세트의 전반적인 내구성과 내마모성을 향상시켰습니다. 이 보호 층은 디스크가 반복적인 사용을 견딜 수 있도록 도와 시간이 지남에 따라 발생할 수 있는 손상이나 품질 저하의 위험을 줄여줍니다. 강화된 내구성은 디스크 세트의 장기적인 성능과 신뢰성을 보장합니다.

Aixtron SiC 코팅 세트 디스크는 반도체 제조, 화학 처리 및 연구 실험실에서 널리 사용됩니다. 탁월한 열 전도성, 내화학성 및 내구성 덕분에 정밀한 온도 제어 및 부식 방지 환경이 필요한 중요한 응용 분야에 이상적입니다.

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
밀도	3.21g/cm³
경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J·kg-1·K-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열 전도성	300W·m-1·K-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K-1