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다공성 흑연이란 무엇입니까? - 베텍반도체

2024-09-23

다공성 흑연(Porous Graphite)은 흑연을 모재로 한 다공성 구조의 제품입니다. 그 재료는 고순도 흑연으로 만들어졌습니다. VeTek Semiconductor Porous Graphite의 물리적 매개변수는 생산 공정 및 특정 응용 분야에 따라 다릅니다. 다음은 일반적인 물리적 매개변수입니다.


전형적인 물리적 특성다공성 흑연
lt
매개변수
부피 밀도
0.89g/cm22
압축강도
8.27MPa
굽힘강도
8.27MPa
인장강도
1.72MPa
비저항
130Ω-inX10-5
다공성
50%
평균 기공 크기
70um
열전도율
12W/M*K

다공성 흑연은 고순도 흑연으로 만들어지며 전기 전도성, 열 전도성, 고온 저항, 내 산화성, 화학적 안정성 및 기타 특성이 우수합니다. 반도체 가공 산업에서 널리 사용됩니다.


반도체 가공 공정에서 Porous Graphite는 다음과 같은 측면에서 널리 사용됩니다.:


다공성 흑연의 우수한 내열성과 산, 알칼리, 용제 등 대부분의 화학물질에 대한 내부식성이 우수한 화학적 안정성이 결합된 Porous Graphite는 고온 소결 및 열처리 장비에 자주 사용됩니다. 예를 들어, 다공성 흑연은 고온 용광로의 라이닝, 단열재 또는 지지재로 사용할 수 있습니다.


또한, Porous Graphite는 전기전도도와 열안정성이 뛰어나 균일한 열장과 안정된 전기적 특성을 제공합니다.

그러므로 이 제품은 다음과 같은 경우에 자주 사용됩니다.확산 또는 산화 과정확산 소스 또는 전극 재료로서의 반도체 공정.


다공성 흑연의 다공성 구조는 반도체 공정에 사용되는 가스를 필터링 및 정화할 수 있으며, 입자 오염 가능성을 줄이고 공정 중 높은 청결도를 보장합니다.


다공성 구조와 우수한 공기 투과성을 갖춘 Porous Graphite는 효율적인 진공 흡착을 통해 웨이퍼 또는 기타 구성 요소를 고정하기 위한 진공 흡착 시스템의 베이스 및 고정 장치로 사용할 수도 있습니다.


VeTek Semiconductor는 흑연의 소결 공정을 조정하여다양한 응용 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 기공 크기와 다공성을 갖춘 다공성 흑연 재료를 맞춤화합니다..


VeTek Semiconductor Porous GraphiteVeTek Semiconductor SiC Crystal Growth Porous GraphiteThree-petal Graphite Crucible

                                                                                 다공성 흑연                       SiC 결정 성장 다공성 흑연             세 개의 꽃잎 흑연 도가니




VeTek Semiconductor는 다음과 같은 특수 흑연 제품의 전문 중국 제조업체, 공급 업체, 공장입니다.SiC 결정 성장 다공성 흑연, 열분해 탄소 코팅, 유리질 탄소 코팅, 등방성 흑연, 실리콘화 흑연그리고고순도 흑연 시트. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 다양한 특수 흑연 제품에 대한 고급 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.


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