다공성 흑연이란 무엇입니까? - 베텍반도체

흑연의 다공성 구조

다공성 흑연(Porous Graphite)은 흑연을 모재로 한 다공성 구조의 제품입니다. 그 재료는 고순도 흑연으로 만들어졌습니다. VeTek Semiconductor Porous Graphite의 물리적 매개변수는 생산 공정 및 특정 응용 분야에 따라 다릅니다. 다음은 일반적인 물리적 매개변수입니다.

다공성 흑연은 고순도 흑연으로 만들어지며 전기 전도성, 열 전도성, 고온 저항, 내 산화성, 화학적 안정성 및 기타 특성이 우수합니다. 반도체 가공 산업에서 널리 사용됩니다.

반도체 가공 공정에서 Porous Graphite는 다음과 같은 측면에서 널리 사용됩니다.:

다공성 흑연의 우수한 내열성과 산, 알칼리, 용제 등 대부분의 화학물질에 대한 내부식성이 우수한 화학적 안정성이 결합된 Porous Graphite는 고온 소결 및 열처리 장비에 자주 사용됩니다. 예를 들어, 다공성 흑연은 고온 용광로의 라이닝, 단열재 또는 지지재로 사용할 수 있습니다.

또한, Porous Graphite Component는 전기전도도와 열안정성이 뛰어나 균일한 열장과 안정적인 전기적 특성을 제공합니다.

그러므로 이 제품은 다음과 같은 경우에 자주 사용됩니다.확산 또는 산화 과정확산 소스 또는 전극 재료로서의 반도체 공정.

다공성 흑연의 다공성 구조는 반도체 공정에 사용되는 가스를 필터링 및 정화할 수 있으며, 입자 오염 가능성을 줄이고 공정 중 높은 청결도를 보장합니다.

다공성 구조와 우수한 공기 투과성을 갖춘 다공성 흑연 부품은 효율적인 진공 흡착을 통해 웨이퍼 또는 기타 구성 요소를 고정하기 위한 진공 흡착 시스템의 베이스 및 고정 장치로 사용할 수도 있습니다.

VeTek Semiconductor는 흑연의 소결 공정을 조정하여다양한 응용 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 기공 크기와 다공성을 갖춘 다공성 흑연 재료를 맞춤화합니다..

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