탄탈륨 카바이드 코팅이란 무엇입니까?

탄탈륨 카바이드(TaC) 세라믹 소재는 녹는점이 최대 3880℃에 달하며 녹는점이 높고 화학적 안정성이 좋은 화합물입니다. 고온 환경에서도 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다. 또한 내열성, 내화학성, 탄소재료와의 화학적, 기계적 친화성이 우수하여 이상적인 흑연 기재 보호 코팅재입니다. 

탄탈륨 카바이드 코팅은 열악한 사용 환경에서 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속의 영향으로부터 흑연 부품을 효과적으로 보호하여 흑연 부품의 수명을 크게 연장하고 흑연의 불순물 이동을 억제하여 품질을 보장합니다.에피택셜그리고결정 성장.

그림 1. 일반적인 탄탈륨 카바이드 코팅 부품

화학 기상 증착(CVD)은 흑연 표면에 TaC 코팅을 생성하는 가장 성숙하고 최적의 방법입니다.

TaCl5와 프로필렌을 각각 탄소 소스와 탄탈륨 소스로 사용하고 아르곤을 운반 가스로 사용하여 고온 기화된 TaCl5 증기가 반응 챔버에 도입됩니다. 목표 온도 및 압력에서 전구체 물질 증기는 흑연 표면에 흡착되어 탄소와 탄탈 소스의 분해 및 결합과 같은 일련의 복잡한 화학 반응은 물론 확산 및 탈착과 같은 일련의 표면 반응을 겪습니다. 전구체의 부산물. 마지막으로 흑연 표면에 조밀한 보호층이 형성되어 극한 환경 조건에서 흑연이 안정적으로 존재하지 않도록 보호하고 흑연 재료의 적용 시나리오를 크게 확장합니다.

그림 2.화학기상증착(CVD) 공정 원리

수의사ek 반도체주로 탄탈륨 카바이드 제품을 제공합니다. TaC 가이드 링, TaC 코팅 세 꽃잎 링, TaC 코팅 도가니, TaC 코팅 다공성 흑연은 SiC 결정 성장 공정에서 널리 사용됩니다. TaC 코팅이 있는 다공성 흑연, TaC 코팅 가이드 링, TaC 코팅 흑연 웨이퍼 캐리어, TaC 코팅 서셉터, 유성 서셉터, TaC 코팅 위성 서셉터 및 이러한 탄탈륨 카바이드 코팅 제품은 다음과 같이 널리 사용됩니다.SiC 에피택시 공정그리고SiC 단결정 성장 공정.

그림 3.수의사ek Semiconductor의 가장 인기 있는 탄탈륨 카바이드 코팅 제품