웨이퍼 핸들링 엔드 이펙터

웨이퍼 핸들링 엔드 이펙터(Wafer Handling End Effector)는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 로봇 핸드 유형으로, 일반적으로 핸들링 및 이송에 사용됩니다.웨이퍼. 웨이퍼 생산 환경은 매우 높은 청결도를 요구합니다. 작은 입자나 오염 물질로 인해 가공 중에 칩이 파손될 수 있기 때문입니다. 세라믹 소재는 우수한 물리적, 화학적 특성으로 인해 이러한 손 제조에 널리 사용됩니다.

전통적인 금속 재료와 비교하여 장점은 다음과 같습니다.도예재료의 영향은 주로 다음과 같은 측면에 반영됩니다.

    •내식성: 웨이퍼는 제조 과정에서 다양한 화학 물질에 노출되며, 세라믹 소재는 부식에 효과적으로 저항하고 장비의 장기간 사용을 보장합니다.

    •낮은 입자 방출: 세라믹은 파티클 방출이 극히 적기 때문에 핸들링 과정에서 파티클이 거의 발생하지 않아 웨이퍼 오염 위험이 줄어듭니다.

    •좋은 고온 저항: 일부 공정에서는 고온 환경에서 웨이퍼를 핸들링해야 하는 경우가 있는데, 세라믹 재료의 웨이퍼 핸들링 로봇은 내열성이 높아 이러한 열악한 환경에 적응할 수 있습니다.

    •전기 절연: 세라믹은 천연전기절연체로서 전류가 흐르는 가공공정에 꼭 필요한 재료로서 정전기가 웨이퍼에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있습니다.

기존의 웨이퍼 핸들링 장비는 알루미늄으로 제작되었으나, SiC로 제작된 VetekSemi Wafer Handling SiC Boat는 많은 장점을 가지고 있습니다. SiC는 우수한 기계적 강도, 탁월한 열 안정성 및 내식성으로 잘 알려져 있습니다. 이러한 특성으로 인해 청결성, 정밀도 및 신뢰성이 중요한 웨이퍼 처리 로봇 팔에 이상적인 소재입니다.

반도체 기술이 지속적으로 발전함에 따라 웨이퍼 크기가 점차 증가하여 웨이퍼 핸들링 엔드 이펙터의 설계 및 제조에 대한 요구 사항이 더욱 높아졌습니다. 앞으로도 자동화 기술의 발전으로 Wafer Handling용 End Effector의 정밀도, 속도, 신뢰성은 지속적으로 향상될 것입니다.

반도체 제조의 핵심 장비 중 하나인 웨이퍼 핸들링 로봇은 높은 청결도, 내식성, 고온 안정성으로 인해 반도체 공장에서 중요한 위치를 차지하고 있습니다. VeTek Semiconductor는 고객에게 맞춤형 Wafer Handling End Effector 제품과 사전 판매 및 애프터 서비스를 제공할 수 있으며 귀하의 상담을 기대합니다.

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