CVD SiC 코팅 강성 펠트

CVD SiC 코팅 리지드 펠트는 흑연 리지드 펠트 표면에 CVD SiC 코팅을 하여 단열층 역할을 하는 부품입니다.CVD SiC 코팅내열성, 우수한 기계적 성질, 화학적 안정성, 우수한 열 전도성, 전기 절연성 및 우수한 내 산화성과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다. 따라서 CVD SiC 코팅 경질 펠트는 강도가 좋고 내열성이 높으며 일반적으로 에피택셜 반응 챔버의 단열 및 지지용으로 사용됩니다.

고순도 흑연 강성 펠트 특성:

  ● 고온 저항: CVD SiC 코팅 경질펠트는 재질에 따라 최대 1000℃ 이상의 온도에서도 견딜 수 있습니다.

  ●  화학적 안정성: CVD SiC 코팅 경질 펠트는 에피택셜 성장의 화학적 환경에서 안정성을 유지하고 부식성 가스의 침식을 견딜 수 있습니다.

  ●  단열 성능: CVD SiC 코팅 경질 펠트는 우수한 단열 효과를 가지며 반응 챔버에서 열이 방출되는 것을 효과적으로 방지할 수 있습니다.

  ●  기계적 강도: SiC 코팅 하드펠트는 기계적 강도와 강성이 우수하여 고온에서도 형태를 유지하고 다른 부품을 지지할 수 있습니다.

경질 흑연 펠트기능:

  ●  단열: CVD SiC 코팅 리지드 펠트를 사용하여 보온성을 제공합니다.SiC 에피텍셜반응 챔버는 챔버 내 고온 환경을 유지하고 에피택셜 성장의 안정성을 보장합니다.

  ●  구조적 지원: CVD SiC 코팅 리지드 펠트가 지지력을 제공합니다.반달 부품고온, 고압에서 발생할 수 있는 변형이나 손상을 방지하기 위한 기타 구성 요소.

  ●  가스 흐름 제어: 반응 챔버 내 가스의 흐름과 분포를 제어하는 ​​데 도움을 주어 다양한 영역의 가스 균일성을 보장함으로써 에피택시층의 품질을 향상시킵니다.

VeTek Semiconductor는 귀하의 필요에 따라 맞춤형 CVD SiC 코팅 강성 펠트를 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 여러분의 문의를 기다리고 있습니다.

그만큼 CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

CVD SiC 코팅 경질 펠트 작업장: